帶你飛介紹PDS固體粘附源（二）

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3.PDS固態源有那么多優勢為什么我幾乎沒有聽說過？

PDS固態源在世界范圍內有非常多的商業量產的實績，幾十年來客戶的持續使用也證明了產品的穩定性。在中國早期有非常多的工程師了解這個工藝。由于離子注入和液態氣態有非常多的從業者從而導致整個工藝為行業所熟悉，高端的會選用離子注入，低端的會選擇液態氣態。目前由于1）國家環保要求，液態氣態源的生產會面臨一定的環保風險， 2）MEMS器件的生產擴張，高濃度擴散需要熱擴散工藝，3）中高品位產品的需求增長，PDS固態源收到了越來越多的詢盤。

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4.PDS固態源有什么局限性？

PDS固態源目前可以做到的極限尺寸為8“;
只能適用于水平爐管而不能用于垂直爐管;
原來液態氣態擴散路需要進行氣路改造才能使用，過程需要通氮氣;
需要專用的石英舟配合.

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5.PDS固態源的技術支持夠嗎？

圣戈班從事該產品的生產快50年，過去有自己的擴散爐設備，在一次又一次的售前售后技術支持中，累計大量的實際生產數據以及問題解決的方案。我們絕不是只銷售產品，我們也提供相關的工藝支持，石英舟涉及，使用知道手冊等書面資料，在每一個客戶的不同要求里，我們會提供有針對性的解決方案。

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